近日，韓國(guó)和美國(guó)均新增了一個(gè)SiC工廠，涉及碳化硅襯底和晶圓制造：
·STI：投資約16.4億在韓國(guó)釜山市建立一家新工廠，年產(chǎn)3萬(wàn)片SiC襯底。
·阿肯色大學(xué)：總投資1.3億人民幣，碳化硅研究和制造工廠破土動(dòng)工。
STI投資超16億
建設(shè)6&8吋SiC廠
據(jù)韓媒報(bào)道，STI宣布將在釜山市建設(shè)一個(gè)年產(chǎn)3萬(wàn)片SiC晶圓的新工廠，以支持韓國(guó)車(chē)規(guī)SiC的本土供應(yīng)。
據(jù)介紹，STI 將投資 3000 億韓元（約16.4億人民幣），在釜山功率半導(dǎo)體細(xì)分專業(yè)園區(qū)建立SiC材料生產(chǎn)工廠。該項(xiàng)目的一期工程占地超 16000 平方米，預(yù)計(jì)明年下半年建成。屆時(shí)，該項(xiàng)目將年產(chǎn)3萬(wàn)片 6 英寸碳化硅襯底。
據(jù)介紹，STI 將投資 3000 億韓元（約16.4億人民幣），在釜山功率半導(dǎo)體細(xì)分專業(yè)園區(qū)建立SiC材料生產(chǎn)工廠。該項(xiàng)目的一期工程占地超 16000 平方米，預(yù)計(jì)明年下半年建成。屆時(shí)，該項(xiàng)目將年產(chǎn)3萬(wàn)片 6 英寸碳化硅襯底。
從2025年起，STI將購(gòu)置11.5萬(wàn)平方米的土地以擴(kuò)建8吋線，利用自身設(shè)備批量生產(chǎn)8英寸碳化硅晶錠和襯底。
STI成立于1989年，是一家熱處理設(shè)備企業(yè)，主要研發(fā)生產(chǎn)光纖基礎(chǔ)材料制造設(shè)備和石英玻璃電爐等設(shè)備。
除了碳化硅長(zhǎng)晶外，該公司具有2項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)：
·SiC PVT長(zhǎng)晶爐
2021年，STI 開(kāi)發(fā)出用于量產(chǎn)6英寸碳化硅的長(zhǎng)晶爐，整個(gè)研發(fā)時(shí)間為2年時(shí)間，同時(shí)還透露他們目標(biāo)是在2021年內(nèi)開(kāi)發(fā)出韓國(guó)首個(gè)8 英寸碳化硅長(zhǎng)晶爐。
·碳化硅粉料合成技術(shù)
為了生產(chǎn)SiC粉料，STI 開(kāi)發(fā)了氟化鈣（CaF2）制造設(shè)備，并利用高純度二氧化硅（SiO2）開(kāi)發(fā) SiC 粉末合成技術(shù)。據(jù)了解，STI 已經(jīng)開(kāi)發(fā)出純度為99.9998%的5N級(jí)SiC粉。
據(jù)介紹，該工廠占地 18660 平方英尺，將設(shè)有約 8000 平方英尺的潔凈室，用于SiC制造和測(cè)試；該設(shè)施預(yù)計(jì)在2025年1月完工，屆時(shí)MUSiC將全面啟用。
值得注意的是，MUSiC的首席研究員Alan Mantoth還重點(diǎn)強(qiáng)調(diào)了8英寸碳化硅晶圓的開(kāi)發(fā)工作。
據(jù)了解，該SiC工廠建設(shè)計(jì)劃于2021年獲得了美國(guó)國(guó)家科學(xué)基金會(huì)（NSF）及美國(guó)陸軍研究實(shí)驗(yàn)室的支持，獲得了約1800 萬(wàn)美元（約1.3億人民幣）的資金支持。
